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Picarro宣布用于半導(dǎo)體晶圓廠的氣體分子污染監(jiān)測系統(tǒng)

高通量系統(tǒng)以萬億分之一的水平在線檢測關(guān)鍵的AMC
Picarro, Inc.
2020-03-25 10:08 7552

加利福尼亞州圣克拉拉市2020年3月25日 /美通社/ -- Picarro宣布推出經(jīng)我們完全優(yōu)化的AMC監(jiān)控系統(tǒng)——Picarro SAM(取樣Sample、分析Analyze和監(jiān)測Monitor)。該系統(tǒng)由Picarro在業(yè)界領(lǐng)先的基于CRDS的傳感器組成,該傳感器已集成到最新的采樣系統(tǒng)中。SAM單元可提供高通量采樣,而不會影響傳感器的性能。

Picarro AMC Monitoring System
Picarro AMC Monitoring System

新的Picarro SAM系統(tǒng)是從組件產(chǎn)品到系統(tǒng)解決方案的重大轉(zhuǎn)變。一站式的設(shè)計、制造和測試系統(tǒng)的好處包括:

  • 針對Picarro硬件和軟件設(shè)計且完全集成的系統(tǒng)——無集成兼容性問題
  • Picarro SAM系統(tǒng)進(jìn)行過精心優(yōu)化——系統(tǒng)性能符合Picarro Semi系統(tǒng)規(guī)格

新發(fā)明的、正在申請專利的氣體輸送歧管促成了SAM的顯著性能優(yōu)勢,使其在很短的時間內(nèi)達(dá)到萬億分之幾(ppt)的檢測靈敏度,并能快速將SAM系統(tǒng)恢復(fù)到基線靈敏度水平。這使得SAM成為在線實時AMC監(jiān)視系統(tǒng)的理想選擇。該系統(tǒng)帶有易于使用的圖形用戶界面,可進(jìn)行各種圖表和趨勢分析。

SAM可以配置為從8個或16個端口采樣,并且目前可用于檢測氨、氟化氫和鹽酸,這三個關(guān)鍵AMC會影響半導(dǎo)體晶圓的產(chǎn)量。展望未來,我們將根據(jù)Picarro的半導(dǎo)體產(chǎn)品路線圖為其它氣體提供SAM系統(tǒng)。

SAM系統(tǒng)路線圖還將支持復(fù)雜的AMC分析,以幫助客戶更準(zhǔn)確地快速識別AMC事件的位置,從而允許采取更快的糾正措施,以提高與AMC相關(guān)的晶圓產(chǎn)量。

關(guān)于Picarro:

Picarro為實時AMC監(jiān)測提供行業(yè)領(lǐng)先的解決方案。與現(xiàn)有的AMC測量技術(shù)(例如離子遷移譜(IMS)和離子色譜法)相比,其光腔衰蕩光譜技術(shù)(CRDS)具有明顯的優(yōu)勢。 Picarro的SI2000系列分析儀可在數(shù)秒而不是數(shù)小時內(nèi)對快速潔凈室中的污染物進(jìn)行響應(yīng)。 Picarro分析儀具有萬億分之一(ppt)含量水平的實時連續(xù)分析功能,可為無塵室、FOUP和晶圓廠設(shè)備中的AMC監(jiān)控提供污染事件的預(yù)警。有關(guān)Picarro Inc.的其它信息,請訪問semi.picarro.com或我們的Twitter。

Photo - https://mma.prnewswire.com/media/1137282/Picarro_SAM_system.jpg
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消息來源:Picarro, Inc.
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